第122章 三大件的解决方案
- 科技强国从升级镜头开始
- 五星造事包
- 2413字
- 2023-12-15 08:10:02
EUV光刻机的核心技术,主要由三大系统构成。
首先是EUV光源系统,这个系统负责制造光刻过程中,需要用到的特殊光线。
从第一代的UV光刻机,到第五代的EUV光刻机,光线的波长也从436nm...
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EUV光刻机的核心技术,主要由三大系统构成。
首先是EUV光源系统,这个系统负责制造光刻过程中,需要用到的特殊光线。
从第一代的UV光刻机,到第五代的EUV光刻机,光线的波长也从436nm...